常用的有机废气处理方法有光氧催化、低温等离子、微波催化、催化燃烧、活性炭吸附、生物药液降解等，这些有机废气因所处行业、浓度不同适合于不同的处理方法。

光氧催化氧化

利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，使有机或无机高分子化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，与臭氧进行反应生成低分子化合物，如CO2、H2O等。投资费用低，适用范围广，净化效率高，操作简单，除臭效果好，设备运行稳定，占地小，运行费用低，随用随开，不会造成二次污染。

吸附法

利用吸附剂的吸附功能使有机废气物质由气相转移至固相，适用于处理低浓度，高净化要求的有机废气。净化效率很高，可以处理多组分有机废气，吸附剂费用昂贵，再生较困难，要求待处理的有机废气有较低的温度和含尘量。

低温等离子体

等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分有机废气，设备占地面积小；电子能量高，几乎可以和所有的有机废气分子作用；运行费用低；反应快、停止十分迅速，随用随开。但对含水、含尘、有机废气易爆炸，一次性投资费高。

催化燃烧法

又称为（RTO）在高温下有机废气物质与燃料气充分混和，在催化剂（三氧化二铝或二氧化钛）实现完全燃烧。适用于处理高浓度、小气量的可燃性气体，净化效率高，有机废气物质被彻底氧化分解，但设备易腐蚀，消耗燃料，处理成本高，易形成二次污染。

水吸收法

（喷淋塔）利用有机废气中某些物质易溶于水的特性，使有机废气成分直接与水接触，从而溶解于水达到去除目的。适用于水溶性、有组织排放源的有机废气。工艺简单，管理方便，设备运转费用低，但产生二次污染，需对洗涤液进行处理；净化效率低，应与其他技术联合使用，对有机废气处理效果差。

药液吸收法利用有机废气中某些物质和药液产生化学反应的特性，去除某些有机废气成分，适用于处理大气量、高中浓度的有机废气。能够有针对性处理某些有机废气成分，工艺较成熟，净化效率不高，消耗吸收剂，易形成而二次污染。

催化氧化反应塔内装填特制的固态复合填料，填料内部复合催化剂。当有机废气在引风机的作用下穿过填料层，与通过特制喷嘴化剂在固相填料表面充分接触，并在催化剂的催化作用下，有机废气中的污染因子被充分分解。适用范围广，尤其适用于处理大气量、中高浓度的废气，对疏水性污染物质有很好的去除率。占地小，投资低；管理方便，即开即用；耐冲击负荷，不易被污染物浓度及温度变化影响。需消耗一定量的药剂，运行成本较高，催化剂操作不当会中毒，存在二次污染。

光化学利用恶臭物质对光子的吸收而发生分解，同时反应过程产生的羟基自由基、活性氧等强化性基团也能参与氧化反应，从而达到降解恶臭物质的目的。适用于浓度较低，且能吸收光子的污染物质，可以处理大气量的、低浓度的有机废气，操作极为简单，占地面积小。对不能吸收光子的污染物质效果差，对于成分复杂的废气无法达到预期处理效果。

光氧催化是光化学和催化氧化方法的一种升级，它把光化学和催化氧化结合起来，处理效果更佳，而且不存在催化剂中毒及对成分复杂的废气无法处理的缺陷，而且它的运营成本更低，因为有催化剂的作用在中低温的情况下也能进行，所以它的能耗也更低。对VOCS气体的异味，甲苯、甲醛、二甲苯等气体处理效率能达到96%以上。韵蓝废气处理研究院经过十年左右的科研攻关及数千的案例进行分析比较后发现，针对VOCS，光氧催化是目前最有效、最节省成本的一种废气处理方法，特别是对浓度在100－800mg/m3的废气能完全处理掉。